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HORIBA质量流量控制器:高精度气体与液体流量测量技术

发表时间:2025/4/30

HORIBA质量流量控制器:高精度气体与液体流量测量技术


简介

HORIBA质量流量控制器(MFC)是一种高精度的流量测量与控制设备,广泛应用于半导体、化工、环境监测和科研等行业。其基于热式质量流量测量原理,不仅能够精确控制气体和液体流量,还不受温度和压力波动的影响,确保稳定性与精准度。


HORIBA质量流量控制器的工作原理

HORIBA质量流量控制器通过加热元件和热敏传感器测量流体的质量流量。流体流经加热元件时,带走一定热量,温差变化与流量成正比。控制系统实时分析温度差异,并根据预设算法计算质量流量。通过调节阀门开度,保证流体流量达到设定目标,提供精确控制。

主要优势

  • 高精度与稳定性:采用热传感技术,确保气体和液体流量测量精确。

  • 温度与压力补偿:不受环境条件影响,提供稳定的流量控制。

  • 实时调节与反馈控制:快速响应流量变化,确保生产过程精确控制。

  • 广泛应用:适用于气体和液体流量测量,尤其在半导体、化工和环保行业。

应用领域

  • 半导体制造
    精确调节气体流量,确保生产工艺稳定性和产品质量。

  • 化工过程控制
    控制化学反应过程中的气体或液体流量,确保反应条件的稳定性。

  • 环境监测
    精确测量和调节气体排放量,助力环保监控。

  • 实验室研究
    提供精准流量测量,确保科研实验的准确性和可重复性。

总结

HORIBA质量流量控制器凭借其先进的流量测量与控制技术,已成为多个行业中重要的高精度设备。通过温度和压力补偿功能,确保流量控制的稳定性和准确性。其广泛的应用范围和可靠性,使其成为半导体、化工、环保等领域不可或缺的设备。

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