HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器

HORIBA SEC-N100系列是一款面向科研实验、气体配比、真空镀膜、CVD/PVD、催化反应及工业设备配套应用的数字式气体质量流量控制器（MFC）。

该系列覆盖从10 SCCM到1000 SLM的流量范围，并提供多种通信方式、密封形式和接口配置，可根据具体气体、流量、压力及控制系统要求进行选型。

产品特点

• 流量范围覆盖10 SCCM至1000 SLM

• 系列宣传精度可达±1.0%设定点，SEC-N17X及低设定流量区间以具体规格为准

• 部分规格可实现约1秒高速响应

• 支持多气体、多量程功能

• 支持模拟信号及多种工业数字通信

• 可选金属密封或弹性体密封配置

• 适用于单路气体控制及多路动态配气系统

通信型号

不同通信方式对应的型号、接插件和电源要求不同，订货前需要确认设备控制系统。

典型应用

• 高校及科研院所实验气路

• 催化反应、微反应及气氛控制

• 多组分气体配比和动态配气

• 真空镀膜、磁控溅射、CVD及PVD设备

• 燃料电池及氢能测试

• 半导体、光伏及LED工艺设备

• 环境分析、气体分析及校准装置

• 科研设备和自动化设备配套

如何选择合适型号

选型时请提供以下信息：

1. 使用气体或混合气体组成

2. 满量程流量及常用工作流量

3. 入口压力和出口压力

4. 接口形式及管径

5. 模拟或数字通信要求

6. 供电方式

7. 密封材料要求

8. 是否需要常闭阀、常开阀或仅测量功能

9. 安装空间及接插件方向

10. 新项目选型或旧型号替换

多气体、多量程说明

SEC-N100系列支持多气体、多量程功能，但并不等于所有气体和量程都能在任意硬件上自由切换。实际可用范围与产品配置、气体数据库、密封材料、传感器和阀门规格有关，订货或更改配置前应进行技术确认。

产品选型与询价

曦源科学仪器（上海）有限公司可提供HORIBA SEC-N100系列质量流量控制器的选型、型号核对及报价服务，重点服务华东地区科研、实验室和设备配套客户。

询价时请尽量提供：

• 使用气体

• 满量程及常用流量

• 入口和出口压力

• 接口形式

• 模拟或数字通信方式

• 新项目选型或原型号替换

联系电话：13062604980
微信：13062604980
官网：www.xiyuansci.cn

联系时请注明“HORIBA SEC-N100选型”，便于快速对接。