HORIBA STEC SEC-Z500X 系列 数字质量流量控制器（MFC）

一、产品概述

SEC-Z500X 系列是 HORIBA STEC 面向高端制造与科研用气体控制所推出的多气体／多量程数字质量流量控制器（Digital Mass Flow Controller, MFC）。该系列支持用户现场切换气体种类或满量程流量，无需拆卸设备或更换硬件。
其特色包括高精度、快速响应、全金属气路结构，广泛适用于半导体制造、光学镀膜、激光加工、高纯气体分配等苛刻工艺环境。

二、主要技术特点

• 多气体／多量程功能：用户可通过软件快速更改气体类型及满量程，无需拆卸设备或更换硬件，从而提高灵活性与减少备件管理。

• 高速响应 + 高精度控制：凭借「Variable PID 系统」，该系列可在任意两个设定点之间实现约 1 秒内响应，同时精度可达 ±1.0 % S.P.（满量程以上）或 ±0.25 % F.S.（低流量段）等典型指标。

• 全金属气路结构：设备内部采用不锈钢（如 SUS316L）镜面抛光处理气路，具备优异洁净度与耐腐蚀性，满足高纯气体控制要求。

• 多种通信接口：该系列支持模拟信号、Digital (RS-485 F-NET)、DeviceNet™、EtherCAT® 等多种通信方式，方便与自动化系统无缝整合。

• 结构紧凑、安装灵活：系列覆盖流量范围广，从低至 SCCM 等低流量等级延伸到高至数十 SLM、高满量程版本。

三、技术规格

项目	规格说明
流量控制范围	Full-scale 流量约 0.5 SCCM ～ 500 SLM（规格依满量程编码变化）
流量测量／控制范围	流量控制通常为满量程的约 2 %～100 %；测量范围为 0～100 % F.S.
响应时间	≤ 1 秒 (T98)（典型）
精度	±1.0 % S.P.（流量 >25 % F.S.）／±0.25 % F.S.（流量 ≤25 % F.S.）
重复性	±0.2 % F.S.（典型）
安装环境温度	工作温度约 5～50 °C（典型）

注：以上为系列典型数据，不特定至某一型号。不同满量程、接口版本、校准气体等会导致具体规格有别。

四、典型应用领域

• 半导体制造流程中气体流量的精密控制（如 CVD、ALD、PVD 等）

• 高纯气体分配系统、气体混合系统

• 光学镀膜、离子束辅助沉积设备

• 激光加工、保护气体控制系统

• 科研流量系统、材料制备实验台

五、为何选择 SEC-Z500X 系列？

• 通过“多气体／多量程”功能可显著简化备件管理、降低库存成本。

• 高精度与快速响应可提升制程稳定性与生产良率。

• 全金属气路确保洁净度、高纯气体兼容性。

• 多种通信接口支持现代自动化与数据采集网络。

• 品牌成熟、技术资料完备、应用广泛。