HORIBA STEC SEC-N112MGM 热式气体质量流量控制器
HORIBA STEC SEC-N112MGM 是日本堀场（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列数字式气体质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC） 的代表型号之一。
电话：13062604980
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联系人：杨经理产品简介
HORIBA STEC SEC-N112MGM 是日本堀场（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列数字式气体质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC） 的代表型号之一。
该系列基于 热式质量流量测量原理（Thermal Mass Flow Measurement），采用高精度传感元件与高速控制算法，实现对各类气体的高精度、快速、稳定的流量控制。凭借 ±1% S.P. 的控制精度和 ≤ 1 s 的响应速度，SEC-N112MGM 广泛应用于 半导体工艺、真空镀膜、精密气体配比、科研气体实验系统 等领域。
主要特性与优势
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热式质量流量测量原理（Thermal Mass Flow Method）
基于加热与温度差检测原理，直接测量气体质量流量，无需温度和压力补偿。 -
高精度 ±1.0% S.P. 控制
通过内置 PID 控制与数字反馈系统，实现高重复性和线性响应。 -
快速响应 ≤ 1 秒
采用 HORIBA 独有的 Variable PID 技术，确保流量变化时快速稳定。 -
多气体/多量程（Multi-Gas, Multi-Range）功能
支持多种气体预设（N₂、Ar、O₂、H₂、He、CF₄ 等），可通过软件切换不同气体与流量量程。 -
丰富的通信接口
提供 RS-485（F-NET 协议）数字通信及模拟信号（0–5 V、4–20 mA）接口，支持多种控制系统集成。 -
金属密封结构 (MGM)
采用全金属密封设计，适用于高纯气体及真空工艺环境。 -
高可靠性与低漂移
长期稳定性优异，适用于连续运行与高精度气体配比控制。 -
全球服务与可追溯校准
HORIBA 提供全球一致的校准体系，符合 ISO 9001 与 CE 认证。
技术参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | HORIBA STEC SEC-N112MGM |
| 系列 | SEC-N100 Series |
| 测量原理 | 热式质量流量（Thermal Mass Flow） |
| 满量程范围 | 10 SCCM ～ 1000 SLM （可选，N₂ 标准气体） |
| 控制精度 | ± 1.0 % S.P. （≥ 35 % F.S. 时） |
| 重复性 | ± 0.2 % F.S. |
| 响应时间 | ≤ 1 秒（设定点到稳定输出） |
| 工作压力 | ≤ 0.3 MPa（典型） |
| 通信接口 | RS-485 （F-NET Protocol） |
| 信号输出 | 模拟 0–5 V / 4–20 mA |
| 密封结构 | MGM = 金属密封（适用于高纯气体） |
| 气体类型 | N₂、O₂、Ar、He、H₂、CF₄ 等（可编程） |
| 工作温度范围 | 15 ℃ ～ 45 ℃ |
| 安装方式 | 水平或垂直安装 |
| 认证标准 | CE、RoHS、ISO 9001 校准体系 |
| 产地 | 日本 Kyoto 堀场制作所 |
应用领域
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半导体制造工艺气体流量控制（CVD、PVD、ALD 等）
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精密真空镀膜与薄膜沉积设备
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高纯气体供应系统（气体柜、混气系统）
-
科研与实验室气体测控装置
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环保监测、燃烧分析及精密仪器气路控制
品牌介绍
HORIBA STEC 是日本堀场集团（HORIBA Ltd.）旗下专注于 气体流量测量与控制技术 的核心子公司，总部位于京都。
其质量流量控制器（MFC/MFM）产品在全球半导体、真空镀膜、分析仪器行业中占据领先地位。
凭借 50 余年的热式流量计技术积累、严格的质量管理体系、以及先进的数字化控制技术，HORIBA STEC 的产品被广泛认可为高精度、高可靠性、高寿命的行业标准。
产品选型建议
| 型号 | 通信方式 | 密封方式 | 典型用途 |
|---|---|---|---|
| SEC-N102 | RS-485 / F-NET | 金属或橡胶密封 | 通用科研、分析仪器 |
| SEC-N112MGM | RS-485 / F-NET | 金属密封 | 高纯气体、半导体工艺控制 |
| SEC-N104 | DeviceNet™ | 金属密封 | 工业自动化集成系统 |
| SEC-N105 | CC-Link® | 金属密封 | 与日系设备兼容系统 |
| SEC-N107 | EtherCAT® | 金属密封 | 高速现场总线控制应用 |
常见问题 FAQ
Q1：SEC-N112MGM 与普通流量计有什么区别？
A1：SEC-N112MGM 为热式质量流量控制器（MFC），可主动控制并保持流量稳定，而普通流量计只能被动显示。
Q2：是否可以测量多种气体？
A2：支持多气体功能，可通过数字接口切换气体类型（N₂、O₂、Ar 等）。
Q3：是否需要温压补偿？
A3：无需，因其采用热式原理，直接测量气体质量流量。
Q4：如何校准？
A4：HORIBA 提供出厂校准及追溯证书，用户可送回或通过代理商进行周期校准。
Q5：是否支持 EtherCAT 或 DeviceNet 通信？
A5：该型号为 RS-485 版本，若需 EtherCAT 可选择 SEC-N107 型号。
代理与采购信息
本公司长期供应 HORIBA STEC SEC-N100 系列数字质量流量控制器，可提供：
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技术选型指导
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合法正规渠道采购
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原厂校准与售后服务
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备件与维修支持
欢迎咨询了解更多产品信息或合作代理计划。
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