HORIBA STEC SEC-N112MGRW 热式气体质量流量控制器
HORIBA STEC 的 SEC-N100 系列是面向高精度气体流量测控的旗舰系列，而 “SEC-N112MGRW” 是该系列中具备橡胶密封结构（MGRW 后缀）、满量程较低级别（N11× 系）的一款型号。
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联系人：杨经理HORIBA STEC SEC-N112MGRW 热式气体质量流量控制器
产品简介
HORIBA STEC 的 SEC-N100 系列是面向高精度气体流量测控的旗舰系列，而 “SEC-N112MGRW” 是该系列中具备橡胶密封结构（MGRW 后缀）、满量程较低级别（N11× 系）的一款型号。
该产品采用热式质量流量测量原理，可直接测量气体质量流量（无需温压补偿）并可实现控制（若用于 MFC 模式）或测量（若以 MFM 模式使用）。适合用于科研、半导体、薄膜、精密气体配比等需求场景。
主要特性
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热式质量流量测量原理：基于加热元件与温度传感对气体流过的热量变化进行质量流量测定。
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高精度控制／测量：系列典型精度为 ±1.0% S.P.（设定流量 > 满量程某比例）或 ±0.3% F.S.（设定 ≤ 某比例）
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快速响应：响应时间 ≤ 1 秒（全量程范围）
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多气体 & 多量程功能：支持用户定制满量程、切换气体类型，具备 “Multi-Gas, Multi-Range (MG/MR)” 功能。
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丰富通信接口选项：系列涵盖 RS-485/F-NET、设备总线（DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™, EtherCAT®）等多种版本。
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橡胶密封版本（MGRW）：相对于金属密封版本（MGM），此版本或许成本略低、适合一般工业气体环境。
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品牌支持与可靠性：HORIBA STEC 为日本品牌，产品线成熟、校准制度完善，易于获得信任。
技术规格
提示：具体满量程、气体种类、接头规格需与订单确认。以下为 N11× 系通用性能摘要。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 系列 | SEC-N100 Series |
| 型号 | SEC-N112MGRW |
| 测量原理 | 热式质量流量（Thermal Mass Flow） |
| 满量程流量范围 | 例如：10 SCCM、100 CCM、500 CCM、1 L/min 等（以 N11× 系对应） |
| 精度 | ±1.0% S.P.（设定流量 > ~30%F.S.）／±0.3% F.S.（设定 ≤ ~30%F.S.） |
| 响应时间 | ≤ 1 秒 |
| 控制／测量范围 | 从 ~2% F.S. 起控制／测量（该系列） |
| 通信／接口选项 | RS-485 (F-NET)／0-5 V／4-20 mA／DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™, EtherCAT® |
| 接头／密封方式 | 橡胶密封版本（MGRW）；接头样式依订货（常见 ¼ VCR 等） |
| 环境温度 | 推荐 15℃～45℃（支持 5℃～50℃） |
| 认证／校准 | 出厂校准，多数支持多气体标准，具备可靠追溯性。 |
应用领域
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半导体工艺气体控制（如 CVD、PVD、ALD 气体流量控制）
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真空镀膜／薄膜沉积设备气体流量测控
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高纯气体供应系统、气体混配系统
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科研实验室气体流量测控、精密仪器气路控制
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工业自动化系统中需高精度低流量质量流量测量／控制的场景
选型建议
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若需求为低流量（如 <100 SCCM）、高精度控制，SEC-N112MGRW 是合适选择。
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若需更大流量（例如几 SLM 至十几 SLM），可考虑系列中的 N12×、N13×、N14× 型号。
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若系统使用设备总线如 DeviceNet/CC-Link／EtherCAT，建议选择对应通信版本（如 SEC-N104／N105／N107 系列）。
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若气体为高纯／腐蚀／极端环境，建议选金属密封版（MGM 后缀）或询问适用版本。
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在中国市场发布／选型时，应注明气体类型（N₂、Ar、O₂、H₂ 等）、控制阀类型（常闭／常开）、接头类型（如 ¼ VCR、¼ SWAGELOK）等。
售后服务与优势
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HORIBA STEC 提供完善的全球校准服务、备件支持及维修体系。
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本公司作为正规渠道代理／经销，提供技术选型支持、中文资料、安装调试服务、长期备件库存。
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提供中文版产品资料、应用案例、客户支持热线，便于中国客户使用与维护。
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能够协助用户实现标准化集成（例如 PLC/DCS 接口、自动化系统支持）。
常见问题（FAQ）
Q1：SEC-N112MGRW 是否支持多气体切换？
A1：是的，该系列具备 Multi-Gas / Multi-Range 功能，用户可通过配置软件或订货选项切换气体类型。
Q2：这个型号是 MFC（质量流量控制器）还是 MFM（质量流量计）？
A2：SEC-N112MGRW 可应用为 MFC 模式（具备控制阀）或 MFM 模式（仅测量），具体取决于是否带控制功能及阀门类型。
Q3：是否需要温度和压力补偿？
A3：不需要。热式质量流量测量原理直接测量气体质量流量，无需额外温压补偿。
Q4：怎样与 PLC 或 DCS 系统连接？
A4：该型号支持模拟输出（0-5 V, 4-20 mA）与数字通信（如 RS-485 等），可通过代理提供通信文档与接口说明。
Q5：如果流量需求比标准满量程大怎么办？
A5：可选系列中更大满量程型号（如 N12×、N13×、N14×）或咨询 HORIBA STEC 定制型号。
代理／采购信息
我们为中国市场提供 HORIBA STEC SEC-N100 系列（包括 SEC-N112MGRW）正规授权代理服务，优势包括：
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技术选型与应用指导
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代理库存及优势交期
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原厂校准及中文服务
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本地化安装与售后支持
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