HORIBA STEC SEC-N114MGM 热式气体质量流量控制器
HORIBA STEC SEC-N114MGM 是日本堀场（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列 数字式热式气体质量流量控制器（MFC）中的中流量高精度型号。
电话：13062604980
邮箱：erdong.yang@outlook.com
联系人：杨经理HORIBA STEC SEC-N112MGM 热式气体质量流量控制器
产品简介
HORIBA STEC SEC-N114MGM 是日本堀场（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列 数字式热式气体质量流量控制器（MFC）中的中流量高精度型号。
该产品采用 热式质量流量测量原理（Thermal Mass Flow Principle），可直接测量并控制气体质量流量，无需温度与压力补偿。其快速响应、±1 % S.P. 精度、多气体／多量程功能及数字化接口，使其成为半导体工艺、真空镀膜设备、科研实验气体系统等领域的优选方案。
主要特性
热式质量流量测量原理
基于加热元件与温度传感器的热量交换原理，直接测量气体质量流量，无需额外的温度或压力补偿。
高精度与稳定性
系列典型控制精度为 ±1.0 % S.P. （设定流量 > 35 % F.S. 时），重复性优于 ±0.2 % F.S.；长期稳定性高，适合连续运行环境。
快速响应性能
采用 HORIBA 独有的 Variable PID 算法，典型响应时间 ≤ 1 s，适合快速切换气体流量的工业或实验应用。
多气体 / 多量程支持（MG / MR 功能）
可在同一设备中预存多种气体参数（如 N₂、Ar、O₂、H₂、He 等）与多个量程档位，用户可灵活切换。
数字化通信与控制
系列可选 RS-485（F-NET）、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT® 等通信方式，方便集成至 PLC 或 DCS 系统。
金属密封结构 (MGM)
“MGM” 代表 Metal Gas Module 或金属密封结构，适用于高纯气体环境，确保密封可靠与低渗漏率。
日本原装制造，品质可追溯
全系列产品由 HORIBA STEC 在日本生产，具备 ISO 9001 质量体系与原厂校准认证。
技术规格
注意：以下为系列中 “N11×” 级别型号（含 N112MGM）的大致规格。实际订货时请参考厂商最新规格书以确认本机具体参数。
| 项目 | 典型参数 |
|---|---|
| 型号 | HORIBA STEC SEC-N114MGM |
| 系列 | SEC-N100 Series |
| 测量原理 | 热式质量流量（Thermal Mass Flow） |
| 典型满量程 | 1 SLM 或 3 SLM （N₂ 基准，可定制） |
| 精度 | ±1.0 % S.P. （≥ 35 % F.S.） / ±0.3 % F.S. （< 35 % F.S.） |
| 响应时间 | ≤ 1 s （设定点到稳定输出） |
| 控制范围 | 2 % F.S. ～ 100 % F.S. |
| 重复性 | ±0.2 % F.S. |
| 通信接口 | RS-485 (F-NET)、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT® （按选型） |
| 信号输出 | 0 – 5 V DC / 4 – 20 mA 模拟信号（可选） |
| 密封结构 | 金属密封（MGM） |
| 接头规格 | 1/4″ VCR 或 Swagelok® 接口（可定制） |
| 使用气体 | N₂、O₂、Ar、H₂、He 等（多气体可选） |
| 工作压力范围 | 50 – 300 kPa （参考值） |
| 环境温度 | 15 ℃ ～ 45 ℃ |
| 产地 | 日本 HORIBA STEC |
应用领域
-
半导体制造设备（CVD、PVD、ALD 气体流量控制）
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真空镀膜及薄膜沉积设备
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高纯气体输送与配比系统
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科研实验与分析仪器气体控制
-
新能源与燃烧控制系统的气体计量
选型建议
确认使用气体种类与目标满量程（如 1 SLM 或 3 SLM）。
根据控制系统通信方式选择对应型号（RS-485、DeviceNet 等）。
选择密封方式（MGM 金属密封 / MGR 橡胶密封）。
确认阀门类型（常闭 / 常开）及是否为 MFC （带阀）或 MFM （不带阀）。
若用于高纯气体或真空系统，推荐 MGM 金属密封型。
我司提供选型指导、技术支持与售后校准服务，欢迎咨询。
常见问题（FAQ）
Q1：SEC-N114MGM 与 SEC-N112MGM 的区别是什么？
A1：N114 型号的满量程更大（约 1 – 3 SLM 范围），适用于中流量应用；N112 多用于低流量（几十 SCCM 级）。
Q2：该型号是否支持多气体切换？
A2：支持。SEC-N100 系列具备 Multi-Gas / Multi-Range 功能，可通过软件或配置文件切换气体与量程。
Q3：是否需要温度与压力补偿？
A3：不需要。热式质量流量测量原理直接测量质量流量，已自动补偿温压变化。
Q4：能否连接 PLC 或 工业总线系统？
A4：可。系列支持 RS-485 数字通信及多种现场总线接口，可与主流自动化系统无缝集成。
Q5：中国市场是否提供原厂校准与售后？
A5：通过授权代理渠道可获得原厂校准服务、中文技术资料与本地售后支持。
代理／采购信息
我们长期供应 HORIBA STEC SEC-N100 系列（含 SEC-N114MGM 型号） 热式气体质量流量控制器。
提供选型咨询、正规渠道采购、原厂校准、技术支持与中文售后服务。
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