HORIBA STEC SEC-N115MGM 热式气体质量流量控制器
HORIBA STEC SEC-N115MGM 属于日本堀场（HORIBA）旗下的 SEC-N100 系列数字式热式质量流量控制器（MFC）。
电话：13062604980
邮箱：erdong.yang@outlook.com
联系人：杨经理HORIBA STEC SEC-N115MGM 热式气体质量流量控制器
产品简介
HORIBA STEC SEC-N115MGM 属于日本堀场（HORIBA）旗下的 SEC-N100 系列数字式热式质量流量控制器（MFC）。
该系列以其 高速响应（≤1 s）、高精度控制（±1 % S.P.）、多气体多量程支持（MG/MR） 和 丰富通信接口（RS-485 / DeviceNet / EtherCAT / CC-Link 等） 而闻名。
其中 SEC-N115MGM 定位为中高流量区间型号，适合在 1 SLM–10 SLM 范围内实现精密的气体质量流量测控。
采用金属密封（MGM）结构，确保在高纯度气体和真空环境中长期稳定运行，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光电与科研设备中。
主要产品特性
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热式质量流量测量原理
通过检测气体流过加热元件所产生的温度差实现高灵敏度质量流量测量，直接测量气体质量流量，无需温度或压力补偿。 -
高精度 ±1.0 % S.P. 控制
内置高速数字信号处理器和 HORIBA 自研 PID 控制算法，确保精确流量稳定性和长期重复性。 -
快速响应 ≤ 1 s
响应速度快，可满足 ALD、CVD 等工艺对流量变化响应时间要求严格的场合。 -
多气体 / 多量程（MG/MR）功能
支持用户预设多种气体（如 N₂、O₂、Ar、He、H₂、CF₄ 等），并可通过软件自由切换不同气体与量程。 -
全金属密封结构 (MGM)
采用不锈钢本体及金属垫密封，防止渗漏，适合高纯气体与腐蚀性环境。 -
多种通信接口与系统兼容性
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模拟信号：0–5 V / 4–20 mA
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数字信号：RS-485 (F-NET)
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现场总线：DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™、EtherCAT®（部分子型号）
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日本原装制造，可靠性高
全系列产品均由 HORIBA STEC 在日本京都生产，通过 ISO 9001 认证，确保一致的制造品质与可追溯校准体系。
技术参数
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 型号 | HORIBA STEC SEC-N115MGM |
| 系列 | SEC-N100 系列数字式热式质量流量控制器 |
| 测量原理 | 热式质量流量（Thermal Mass Flow） |
| 典型满量程 | 1 SLM – 10 SLM（N₂ 基准，可选） |
| 控制精度 | ±1.0 % S.P.（≥ 35 % F.S. 时） / ±0.3 % F.S.（≤ 35 % F.S. 时） |
| 重复性 | ±0.2 % F.S. |
| 响应时间 | ≤ 1 s（设定点到稳定输出） |
| 工作压力 | ≤ 300 kPa（典型） |
| 控制范围 | 2 % F.S. – 100 % F.S. |
| 通信接口 | RS-485（F-NET）/ DeviceNet™ / CC-Link® / EtherCAT®（可选） |
| 信号输出 | 模拟 0–5 V DC / 4–20 mA |
| 密封结构 | 金属密封 (MGM) 适用于高纯气体 |
| 接头规格 | 1/4″ VCR 或 Swagelok® 接口（可定制） |
| 适用气体 | N₂、Ar、O₂、He、H₂、CF₄ 等（多气体功能） |
| 环境温度 | 15 ℃ ～ 45 ℃（推荐） |
| 认证标准 | CE / RoHS / ISO 9001 |
| 产地 | 日本 Kyoto HORIBA STEC Co., Ltd. |
应用领域
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半导体制造设备：CVD、PVD、ALD 等工艺气体控制
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真空镀膜与薄膜沉积系统
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高纯气体输送与混配系统
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科研与实验室气体控制平台
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分析仪器与精密测试设备气路系统
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新能源与环保设备中的气体流量测控
选型建议
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若气体流量需求在 1 SLM～10 SLM 区间，建议选择 SEC-N115MGM。
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若流量更小（SCCM 级），可选择 SEC-N112 / N113 / N114；若流量更大（数十 SLM 以上），可选 SEC-N12x 系列。
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根据系统通信方式选择不同接口版本（RS-485 / DeviceNet / EtherCAT）。
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若使用高纯或腐蚀性气体，请指定 MGM 金属密封结构。
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若用于单纯流量监测，请选择不带阀的 MFM 版本。
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若集成至 PLC / DCS 系统，请确认协议匹配与引脚定义。
常见问题（FAQ）
Q1：SEC-N115MGM 与 SEC-N114MGM 的区别？
A1：两者结构相同，但 N115 型号满量程更高（适合 1–10 SLM），N114 主要用于 1 SLM 以下流量。
Q2：是否支持多气体切换？
A2：是。SEC-N100 系列支持 Multi-Gas/Multi-Range 功能，可通过软件切换气体与量程配置。
Q3：是否需要温度和压力补偿？
A3：无需。因其采用热式质量测量，直接获得气体质量流量。
Q4：能否集成至自动化系统？
A4：可以。支持 RS-485、DeviceNet、EtherCAT 等通信协议，可与主流控制系统无缝连接。
Q5：中国市场是否有技术支持？
A5：通过正规授权代理渠道采购，可获得中文资料、原厂校准服务与本地化售后支持。
品牌介绍
HORIBA STEC 是日本 HORIBA 集团旗下专注气体测控技术的核心公司。
凭借超过 50 年的热式流量测控经验与全球服务体系，HORIBA STEC 产品被广泛应用于半导体、光电、精密仪器、科研与新能源等领域，代表了气体流量控制器的行业标杆。
代理与采购信息
我们提供 HORIBA STEC SEC-N100 系列（含 SEC-N115MGM） 的正规授权代理与销售服务，包括：
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技术选型与应用咨询
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原厂采购与全球校准
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中文资料与售后服务
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备件与维修支持
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