HORIBA STEC SEC-N116MGM 热式气体质量流量控制器

产品简介

HORIBA STEC SEC-N116MGM 隶属于日本堀场（HORIBA） SEC-N100 系列数字式热式质量流量控制器（MFC）。
该系列采用数字信号处理（DSP）技术，实现快速响应（≤ 1 s）、高精度控制（± 1 % S.P.），并支持多气体多量程（MG/MR）及多种通讯接口（RS-485 / DeviceNet / EtherCAT / CC-Link 等）。
SEC-N116MGM 型号面向中高流量应用区间（典型 10 SLM 至 30 SLM），采用全金属密封结构（MGM），适合高纯气体与真空工艺使用。
产品广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光电器件生产、以及科研实验平台等对流量精度和洁净度要求严苛的场合。

产品特性

数字式控制内核：集成 DSP 运算，实现高稳定性和低漂移控制性能。
快速响应时间：典型 ≤ 1 s，支持动态流量切换工艺。
高精度与高重复性：设定点 ± 1 % 以内精度，重复性 ± 0.2 % F.S.。
多气体多量程支持：可通过软件切换气体类型及满量程范围，适配多工艺。
多通讯协议兼容：RS-485、DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、PROFIBUS 等工业总线接口。
金属密封结构（MGM）：全金属接液设计，适用于高纯气体及真空环境。
宽流量范围可选：支持 10 SCCM – 1000 SLM 范围内的定制化型号。

技术参数

项目	参数
型号	SEC-N116MGM
系列	SEC-N100 系列
控制原理	热式质量流量控制（Thermal Mass Flow Control）
控制范围	10 SCCM – 1000 SLM （视具体型号配置）
精度	± 1 % S.P. 或 ± 1 % F.S. （取较大者）
重复性	± 0.2 % F.S.
响应时间	≤ 1 s （典型）
设定信号输入	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
输出信号	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
通讯接口	RS-485 / DeviceNet / EtherCAT / CC-Link / PROFIBUS
阀门类型	常闭型（Normally Closed）
密封结构	金属密封（Metal Seal）
接液材质	SUS316L / 不锈钢 / PTFE
接头形式	1/4″ VCR 或 Swagelok® 可选
工作差压	≤ 300 kPa(d)
工作温度	5 °C – 50 °C
电源要求	+15 V DC (± 1 V)
典型重量	约 1.1 kg