HORIBA STEC SEC-N117MGM 热式气体质量流量控制器

产品简介

HORIBA STEC SEC-N117MGM 隶属于日本堀场（HORIBA）推出的 SEC-N100 系列数字式热式质量流量控制器（MFC）。
该型号面向中高流量区间（约 20 SLM 至 50 SLM）的高纯气体控制应用，采用全金属密封（MGM）结构，确保在真空及高洁净环境中长期稳定运行。
SEC-N117MGM 具备高速响应（≤ 1 s）、高精度控制（± 1 % S.P.）、多气体多量程功能（MG/MR）与多种通讯接口（RS-485 / DeviceNet / EtherCAT / CC-Link 等），广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光电与科研设备中。

产品特性

数字式控制内核：内置 DSP 信号处理与 Variable-PID 算法，实现快速稳定流量控制。
快速响应：典型 ≤ 1 s，支持动态流量变化场景。
高精度与高重复性：设定点精度 ± 1 %，重复性 ± 0.2 % F.S.。
多气体多量程支持：用户可通过软件更改气体类型及满量程流量。
丰富通讯接口：RS-485、DeviceNet™、EtherCAT®、CC-Link™、PROFIBUS™。
全金属密封结构 (MGM)：SUS316L 不锈钢接液设计，防腐耐高压，适用于高纯气体与真空系统。
宽流量覆盖范围：10 SCCM 至 1000 SLM 可选。

技术参数

项目	参数
型号	SEC-N117MGM
系列	HORIBA STEC SEC-N100 系列
控制原理	热式质量流量控制（Thermal Mass Flow）
典型流量范围	20 SLM – 50 SLM （可定制）
控制精度	± 1 % S.P. 或 ± 1 % F.S.（取较大者）
重复性	± 0.2 % F.S.
响应时间	≤ 1 s （典型）
输入信号	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
输出信号	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
通讯接口	RS-485 / DeviceNet / EtherCAT / CC-Link / PROFIBUS
阀门类型	常闭型（Normally Closed）
密封结构	全金属密封（Metal Seal）
接液材质	SUS316L / 不锈钢 / PTFE
接头形式	1/4″ VCR 或 Swagelok®
工作差压	≤ 300 kPa(d)
工作温度	5 °C – 50 °C
电源要求	+15 V DC (± 1 V)
重量	约 1.1 kg