HORIBA STEC SEC-N122MGM 热式气体质量流量控制器

产品简介

HORIBA STEC SEC-N122MGM 隶属于日本堀场（HORIBA）推出的 SEC-N100 系列数字式热式质量流量控制器（MFC）。
该系列以其高精度（±1% S.P.）、快速响应（≤1 s）、多气体多量程（MG/MR）支持、丰富通讯接口（RS-485 / DeviceNet / EtherCAT / CC-Link / PROFIBUS）而广受半导体与真空行业采用。
SEC-N122MGM 属于该系列的中低流量型号，典型满量程范围为 30 SCCM–100 SCCM，采用金属密封结构（MGM），确保在高纯气体与真空环境中实现长期稳定运行。
该型号广泛应用于半导体工艺气体控制、光学镀膜、科研实验室及等离子体系统等对精度与洁净度要求极高的场合。

产品特性

数字式控制核心：采用 DSP 处理与 Variable-PID 算法，快速实现精准流量控制。
高速响应性能：典型响应时间 ≤ 1 s，可适应工艺气体流量的动态变化。
高精度与重复性：控制精度 ± 1 % S.P.，重复性 ± 0.2 % F.S.。
多气体／多量程功能（MG/MR）：可通过软件自由切换气体类型及满量程流量。
多种通讯协议：支持 RS-485、DeviceNet™、EtherCAT®、CC-Link™、PROFIBUS™ 等工业总线。
全金属密封结构（MGM）：SUS316L 不锈钢接液设计，洁净耐腐蚀，适合高纯气体系统。
紧凑轻量化设计：体积小巧、安装灵活、维护便捷。

技术参数

项目	参数
型号	SEC-N122MGM
系列	HORIBA STEC SEC-N100 系列
控制原理	热式质量流量控制（Thermal Mass Flow Control）
满量程范围	30 SCCM – 100 SCCM（典型，N₂ 等效）
控制精度	± 1 % S.P. 或 ± 1 % F.S.（取较大者）
重复性	± 0.2 % F.S.
响应时间	≤ 1 s（典型）
设定信号输入	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
输出信号	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
通讯接口	RS-485 / DeviceNet™ / EtherCAT® / CC-Link™ / PROFIBUS™
阀门类型	常闭型（Normally Closed）比例阀
密封结构	全金属密封（MGM）
接液材质	SUS316L / 不锈钢 / PTFE
接口规格	1/4″ VCR 或 Swagelok®
工作差压	≤ 300 kPa(d)
工作温度	5 °C – 50 °C
电源要求	+15 V DC (± 1 V)
重量	约 1.0 kg