HORIBA STEC SEC-N124MGM 热式气体质量流量控制器

产品简介

HORIBA STEC SEC-N124MGM 隶属于日本堀场（HORIBA）推出的 SEC-N100 系列数字式热式质量流量控制器（MFC）。
该系列以其高速响应（≤ 1 s）、高精度控制（± 1 % S.P.）、多气体多量程支持（MG/MR）与多种工业通讯协议（RS-485 / DeviceNet / EtherCAT / CC-Link / PROFIBUS）而著称。
SEC-N124MGM 作为中高流量段型号，典型满量程可达 30 SLM (N₂ 等效) 及以上，采用全金属密封结构（MGM），专为高纯气体与真空环境设计，适用于半导体制造、真空镀膜、光电与科研设备中的精密气体控制。

产品特性

数字式控制核心：基于 DSP 信号处理与 Variable-PID 算法，实现快速、稳定的流量响应。
快速响应性能：典型响应时间 ≤ 1 秒，支持动态气体流量变化。
高精度与高重复性：设定流量 > 30 % 满量程时 ± 1 % S.P. 精度；≤ 30 % 满量程时 ± 0.3 % F.S.；重复性 ± 0.2 % F.S.。
多气体／多量程功能（MG/MR）：可通过软件自由切换气体类型及满量程流量。
多通讯接口兼容：RS-485、DeviceNet™、EtherCAT®、CC-Link™、PROFIBUS™ 等工业总线。
全金属密封结构（MGM）：SUS316L 不锈钢接液材质，洁净耐腐蚀，适合高纯气体。
宽流量范围覆盖：SEC-N100 系列支持 10 SCCM 至 1000 SLM 的多种规格。

技术参数

项目	参数
型号	SEC-N124MGM
系列	HORIBA STEC SEC-N100 系列
控制原理	热式质量流量控制（Thermal Mass Flow Control）
满量程范围	约 30 SLM (N₂ 等效)，可定制
控制精度	± 1 % S.P. 或 ± 1 % F.S. （取较大者）
重复性	± 0.2 % F.S.
响应时间	≤ 1 s （典型）
设定信号输入	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
输出信号	0 – 5 V DC 或 4 – 20 mA
通讯接口	RS-485 / DeviceNet™ / EtherCAT® / CC-Link™ / PROFIBUS™
阀门类型	常闭型（Normally Closed）比例阀
密封结构	全金属密封（MGM）
接液材质	SUS316L / PTFE / 不锈钢
接口规格	1/4″ VCR 或 Swagelok®
工作差压	≤ 300 kPa(d)
工作温度	5 °C – 50 °C
电源要求	+15 V DC (± 1 V)
重量	约 1.1 kg