SEC-N100 系列数字式质量流量控制器
SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。
SEC-N100系列数字式质量流量控制器(MFC)是专为精确、可靠的气体质量流量控制而设计的高性能仪器。该系列控制器采用先进的热质量流量传感器,广泛应用于实验室、工业制造、半导体行业等多个领域,特别适用于需要高精度流量控制和实时数据监测的应用。
高精度流量控制:提供卓越的精度和重复性,适用于要求极高精度的流量控制应用。
宽广的流量范围:能够支持从0至1000 sccm(标准立方厘米每分钟)的广泛流量范围,满足不同气体流量控制需求。
数字化控制与实时数据:通过数字接口支持与控制系统的集成,方便实现远程监控与控制。
紧凑设计:具备紧凑的外形设计,可以在空间有限的环境中方便地安装使用。
易于操作的用户界面:简单直观的界面设计,使设备的安装和使用变得更加便捷。
先进的传感技术:采用最新的热质量流量传感技术,提供更高的流量控制精度和稳定性。
实验室应用:适用于各类科研实验和气体流量控制,确保精确测量与控制。
工业制造:广泛应用于生产线、气体输送与加工过程中,确保流量的稳定性和可靠性。
半导体行业:在半导体设备中广泛使用,精准控制气体流量以支持各类沉积与刻蚀工艺。
化学与生物工程:可应用于气体混合、反应过程中的质量流量调节,确保反应条件的一致性。
流量范围:0至1000 sccm(具体型号可根据需求选择)
精度:±1% 读数,确保精确的流量控制
响应时间:快速响应,适应动态流量控制
工作压力:支持多种工作压力条件,广泛适应工业环境
电源要求:支持直流或交流电源输入,确保设备灵活应用
气体类型:可根据客户需求定制支持的气体类型,包括氮气、氧气、氩气等。
控制接口:提供数字通信接口(RS-485、Modbus),可与自动化控制系统实现集成。
流量范围与精度:根据实际需求调整流量范围和精度设置,满足不同应用的要求。
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