SEC-E 系列 数字式质量流量控制器
这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀,可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件,SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。
HORIBA SEC-E 系列数字式质量流量控制器(MFC)是一款高精度的气体流量控制设备,专为高要求的工业和科研应用设计。它采用先进的热质量流量传感技术,能够精确测量和控制各种气体流量。广泛应用于半导体制造、生命科学、化学工程等领域,确保在动态环境下流量控制的稳定性与高精度。
高精度流量控制:通过先进的热质量流量传感器,实现高精度流量测量,适用于要求高精度的应用。
宽广流量范围:流量范围从0至1000 sccm,能够满足多种应用中的气体流量需求。
快速响应时间:SEC-E 系列具备快速响应能力,在变化的流量控制条件下始终保持精准调节。
数字化接口:支持RS-485、Modbus等多种数字接口,便于与自动化控制系统集成,提升系统的智能化管理。
紧凑设计:精巧的设计使得设备能够轻松安装于各种工业和实验室环境中,节省空间。
可靠性与稳定性:通过长期的性能优化与测试,确保在高负荷环境下的稳定运行,适应严苛的工作条件。
半导体行业:在气体沉积、刻蚀等关键制造过程中进行精确的气体流量控制,确保生产过程中气体的精确管理。
实验室研究:用于气体流量测量和控制,广泛应用于科研实验中,确保精确的气体环境控制。
生命科学:在生物医学研究中,提供精准的气体流量控制,保障实验条件的稳定。
化学工程:适用于气体混合、反应控制等化学工艺过程中,确保反应的精确性和一致性。
流量范围:0至1000 sccm(根据型号不同可选择不同流量范围)
精度:精度高达±1% 读数,确保精确的气体流量控制。
响应时间:快速响应,适应动态流量变化的需求。
工作压力:支持广泛的工作压力,适用于不同工业和实验室环境。
电源要求:提供直流或交流电源输入,可根据应用环境灵活配置。
气体类型:支持定制不同气体类型,包括氮气、氧气、氩气等,满足不同行业的需求。
接口选项:支持RS-485、Modbus等数字接口,方便与自动化控制系统无缝连接。
流量范围与精度:根据需求定制流量范围和精度,以适应各种复杂的控制要求。
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