SEC-8000 F/D/E 系列 高温数字式质量流量控制器
SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。
电话：13062604980
邮箱：erdong.yang@outlook.com
联系人：杨经理HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列 高温数字式质量流量控制器
产品概述：
HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列高温数字式质量流量控制器（MFC）是专为高温环境下的精确气体流量控制设计的高性能设备。此系列控制器广泛应用于半导体、化学工业、能源领域及各种高温实验中，采用先进的热质量流量传感技术，在高温环境下也能提供稳定和精准的流量测量与控制。其高温适应性和快速响应能力使其成为各种高要求应用的理想选择。
主要特点：
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高温适应性：能够承受高达500°C的工作温度，适用于极端工况，确保高温环境下的精确气体流量控制。
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高精度控制：采用热质量流量传感技术，提供高精度的流量测量和稳定控制，精度可达±1% 读数。
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数字化控制：支持RS-485、Modbus等数字接口，便于与工业自动化控制系统进行集成，提供更智能化的操作。
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快速响应时间：快速响应气体流量变化，能够在短时间内进行调整，确保稳定的流量控制。
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多种气体支持：支持多种常见气体（如氮气、氧气、氩气等）及定制气体，适应不同工业和实验需求。
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耐用可靠：在高温和恶劣环境下长期稳定运行，保证设备的高可靠性和耐用性。
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紧凑设计：紧凑的设计节省空间，方便安装，适用于空间有限的工业环境。
应用领域：
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半导体行业：在半导体制造过程中，精确控制气体流量是确保高质量生产的关键，SEC-8000系列控制器可在高温环境下执行精确控制。
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化学工业：用于化学反应、气体输送和混合过程中，提供高温环境下的精确气体流量控制。
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能源领域：在能源和燃烧系统中，用于高温气体流量测量与控制，确保高效和精确的流量控制。
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高温实验与测试：适用于高温气体流量测量和控制，广泛应用于科研和高温实验中。
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高温气体输送：用于高温环境下的气体流量输送与精确调节，保障生产过程中的气体供应。
技术规格：
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流量范围：0至5000 sccm（标准立方厘米每分钟），根据型号可定制流量范围。
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精度：±1% 读数，确保精确流量控制。
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工作温度：适应高温环境，支持工作温度高达500°C。
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响应时间：快速响应，适应动态流量变化，确保稳定的气体流量控制。
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工作压力：支持多种工作压力环境，能够支持高压操作。
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电源要求：支持DC或AC电源输入，能够灵活配置。
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数字接口：提供RS-485、Modbus等多种数字接口，便于与工业自动化系统进行集成。
定制化选项：
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气体类型：支持定制多种气体类型，包括氮气、氧气、氩气等常见气体，也可根据客户需求提供定制气体。
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接口类型：支持RS-485、Modbus等数字通信接口，方便与工业控制系统集成。
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流量范围与精度：根据客户需求，定制流量范围和精度，以满足不同行业的具体应用需求。
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