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SEC-Z500X 多量程/多气体数字质量流量控制器

这是 HORIBA 最畅销的数字式质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能,用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。

电话:13062604980
邮箱:erdong.yang@outlook.com
联系人:杨经理

HORIBA SEC-Z500X 多量程/多气体数字质量流量控制器

产品概述:

HORIBA SEC-Z500X 系列多量程/多气体数字质量流量控制器(MFC)是一款高精度、灵活可靠的气体流量控制解决方案,广泛应用于半导体、化学工程、实验室研究及其他高精度流量控制领域。该系列控制器采用先进的热质量流量传感技术,支持多种气体类型和多个流量范围,能够在不同应用场景下提供精准的气体流量调节。凭借其卓越的控制性能,SEC-Z500X 成为各类工业与科研应用中的理想选择。

主要特点:

  • 多量程支持:SEC-Z500X 提供多个流量范围选项,可以根据应用需求灵活调整流量范围,适应不同的流量控制需求。

  • 多气体适配:支持氮气、氧气、氩气、空气等多种气体,并根据客户需求定制其他气体选项,满足多样化的工业与科研需求。

  • 高精度流量控制:采用热质量流量传感技术,提供±1% 读数的精度,确保气体流量的精确控制。

  • 快速响应:具备快速响应能力,能够快速调整流量,确保流量控制在动态工况下的稳定性。

  • 数字接口:支持RS-485、Modbus等多种数字接口,便于与现有的自动化控制系统无缝集成,支持远程控制与监测。

  • 耐用性与可靠性:具备高可靠性与耐用性,确保设备在高要求的工业环境下长期稳定运行。

  • 紧凑设计:设备设计紧凑,适合在空间有限的环境中进行安装,满足狭小空间的需求。

应用领域:

  1. 半导体行业:用于半导体制造过程中的气体流量调节,确保精确稳定的气体流量供应,提升产品质量。

  2. 化学工程:广泛应用于化学反应、气体输送和气体混合过程中,提供精确的气体流量控制,确保反应条件一致性。

  3. 实验室研究:适用于各类科研实验中,确保实验环境中的气体流量稳定和精确。

  4. 气体监控系统:用于气体流量监测和控制,确保系统的稳定运行和高效工作。

  5. 生命科学与生物医学研究:为生命科学实验提供精确的气体流量控制,确保实验条件的严格要求。

技术规格:

  • 流量范围:0 至 5000 sccm(标准立方厘米每分钟),支持多种流量范围,以满足不同应用需求。

  • 气体类型:支持氮气、氧气、氩气、空气等多种常见气体,也可根据客户需求提供定制气体类型。

  • 精度:±1% 读数,确保流量控制精度和稳定性。

  • 响应时间:快速响应时间,能够在气体流量变化时及时进行调整。

  • 工作压力:适应多种工作压力环境,支持高压操作。

  • 电源要求:支持DC或AC电源输入,满足不同工作环境需求。

  • 数字接口:支持RS-485、Modbus等数字通信接口,便于与工业控制系统集成。

定制化选项:

  • 气体类型:提供多种气体类型选项,如氮气、氧气、氩气、空气等,也可根据客户需求定制其他气体类型。

  • 接口选项:支持RS-485、Modbus等多种数字通信接口,便于与现有自动化系统集成。

  • 流量范围与精度:根据实际需求提供定制化的流量范围和精度设置,满足不同应用的精确控制需求。

SEC-Z500X 多量程/多气体数字质量流量控制器
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