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SEC-Z700S 系列 压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

电话:13062604980
邮箱:erdong.yang@outlook.com
联系人:杨经理

HORIBA SEC-Z700S 系列 新型压力补偿质量流量控制器

产品概述:

HORIBA SEC-Z700S 系列新型压力补偿质量流量控制器(MFC)是一款高精度、稳定可靠的气体流量控制器,特别设计用于需要在压力变化环境中保持精确流量控制的应用。该系列控制器采用先进的压力补偿技术,确保在各种压力波动条件下都能提供稳定和精准的流量调节。SEC-Z700S 系列适用于半导体制造、化学工业、实验室研究等多个高要求领域,是气体流量控制的理想选择。

主要特点:

  • 压力补偿技术:该系列采用创新的压力补偿设计,能够自动适应气体压力波动,保持精确的流量控制,确保在高动态气体流量应用中的稳定性。

  • 高精度流量控制:采用先进的热质量流量传感技术,确保气体流量的精确测量,精度可达±1%读数,适合高精度要求的流量控制。

  • 多气体适配:支持氮气、氧气、氩气、空气等多种常见气体,并可根据客户需求定制其他气体类型,广泛适应不同的工业和科研应用。

  • 快速响应时间:具备快速响应能力,能够在流量变化时迅速进行调整,保证动态工况下的流量稳定性。

  • 数字接口:支持RS-485、Modbus等多种数字接口,方便与自动化控制系统进行集成,支持远程监控和控制。

  • 高可靠性与耐用性:设计坚固耐用,能够在恶劣环境下长期稳定运行,保证设备的长期可靠性。

  • 紧凑设计:设备紧凑,适合空间受限的环境,便于安装和操作。

应用领域:

  1. 半导体行业:在半导体制造过程中,精确控制气体流量是确保生产质量和一致性的关键,SEC-Z700S 系列提供精确的流量控制,确保稳定的气体供应。

  2. 化学工程:适用于化学反应过程中的气体流量调节,确保反应条件的一致性和精确性,提升反应效率。

  3. 实验室研究:广泛应用于实验室气体流量控制需求,确保实验环境中的气体流量稳定和精确。

  4. 气体监控系统:用于气体监控系统中,提供精准的流量控制,确保系统的稳定运行和高效工作。

  5. 生命科学:在生命科学研究中,提供精确的气体流量控制,确保实验条件的严格要求。

技术规格:

  • 流量范围:0 至 5000 sccm(标准立方厘米每分钟),根据应用需求提供多个流量范围。

  • 气体类型:支持氮气、氧气、氩气、空气等常见气体,并可以根据客户需求定制其他气体类型。

  • 精度:±1% 读数,提供高精度流量控制。

  • 压力补偿范围:能有效补偿一定范围内的压力变化,确保在压力波动时仍能精确控制气体流量。

  • 响应时间:快速响应,能够实时调整流量以适应动态变化。

  • 工作压力:适应多种工作压力环境,能够支持高压操作。

  • 电源要求:支持DC或AC电源输入,满足不同操作环境的需求。

  • 数字接口:支持RS-485、Modbus等数字通信接口,方便与控制系统的集成。

定制化选项:

  • 气体类型:提供多种气体适配选项,支持定制气体类型,以满足特定的应用需求。

  • 接口选项:支持RS-485、Modbus等数字接口,便于与自动化控制系统集成。

  • 流量范围与精度:根据需求定制流量范围和精度设置,确保满足不同应用的精确控制需求。

SEC-Z700S 系列 压力补偿质量流量控制器
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