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D500 压差式质量流量控制器

高性能 CRITERION D500 适用于一系列先进的半导体制程,具有压力补偿,多量程/多气体/多压力,G-LIFE(集成限流器方程的气体定律校验)自诊断功能,高精度、快速响应、宽量程、全金属等特点。

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联系人:杨经理

HORIBA D500 压差式质量流量控制器

产品概述:

HORIBA D500 压差式质量流量控制器(MFC)是一款专为精确控制气体流量而设计的高性能设备。该控制器采用先进的压差流量控制技术,通过精准的压差测量来实现气体流量的控制,确保在复杂和动态环境下依然能保持高精度流量调节。D500 系列控制器适用于半导体、化学工程、实验室研究等多种高精度流量控制需求,凭借其优异的性能,广泛应用于多个行业和领域。

主要特点:

  • 压差控制技术:采用压差流量控制原理,能够通过精确测量压差实现稳定的气体流量控制,确保精确的流量调节。

  • 高精度控制:提供±1%读数的流量控制精度,确保流量调节的高精度和稳定性。

  • 广泛的气体适配性:支持氮气、氧气、氩气、空气等多种常见气体,并可根据需求提供定制气体选项,满足不同行业和应用的气体流量需求。

  • 快速响应时间:具备快速响应能力,能够迅速对流量变化进行调整,保证在快速变化的工况下稳定控制。

  • 紧凑设计:精巧的设备设计使其能够在空间有限的环境中安装使用,适应不同的工业和实验室需求。

  • 高可靠性:经过精密设计,具备长期稳定运行的能力,适用于恶劣环境中的长期使用。

  • 易于集成:支持多种数字接口(如RS-485、Modbus),便于与自动化控制系统进行集成,支持远程监控和控制。

应用领域:

  1. 半导体行业:在半导体制造过程中,精确控制气体流量对产品质量至关重要,D500 系列提供稳定的流量控制,确保气体流量的精确管理。

  2. 化学工程:适用于化学反应和气体输送过程中的流量控制,确保反应条件的准确性和一致性。

  3. 实验室研究:广泛应用于科研实验中,提供稳定、精确的气体流量调节,确保实验环境的稳定性。

  4. 气体监控系统:用于气体流量监控和调节系统,确保系统的稳定运行。

  5. 生命科学:在生命科学实验中,提供精确的气体流量控制,确保实验条件的严格控制。

技术规格:

  • 流量范围:0 至 5000 sccm(标准立方厘米每分钟),适应不同流量范围的需求。

  • 气体类型:支持氮气、氧气、氩气、空气等常见气体,也可根据需求定制更多气体类型。

  • 精度:流量控制精度高达±1%读数,确保稳定的流量调节。

  • 响应时间:快速响应时间,确保在动态流量变化时能够及时进行调整。

  • 工作压力:支持多种工作压力环境,适应不同操作条件。

  • 电源要求:支持DC或AC电源输入,适应多种操作环境需求。

  • 数字接口:提供RS-485、Modbus等数字接口,便于与自动化控制系统的集成。

定制化选项:

  • 气体类型:支持多种气体类型,包括氮气、氧气、氩气、空气等,满足不同应用需求。

  • 接口选项:提供RS-485、Modbus等数字接口,方便与控制系统的集成。

  • 流量范围与精度:根据需求定制流量范围和精度设置,确保满足不同应用的精确控制要求。

D500 压差式质量流量控制器
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