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S600 系列质量流量控制器

HORIBA S600 系列质量流量控制器(MFC)是一款高精度气体流量控制设备,专为精确控制气体流量而设计。

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邮箱:erdong.yang@outlook.com
联系人:杨经理

HORIBA S600 系列 质量流量控制器

产品概述:

HORIBA S600 系列质量流量控制器(MFC)是一款高精度气体流量控制设备,专为精确控制气体流量而设计。该系列采用先进的热质量流量传感技术,提供高精度流量调节,广泛应用于半导体、化学工程、实验室研究等需要精确流量控制的行业。S600 系列提供多种流量范围和气体类型选择,支持数字化接口,能够满足各类工业和科研需求。

主要特点:

  • 高精度流量控制:采用热质量流量传感技术,确保流量测量和控制精度高达±1%读数,适用于高精度流量控制要求的应用。

  • 多气体支持:支持氮气、氧气、氩气、空气等多种常见气体,并可根据需求定制更多气体类型,以满足不同行业的气体流量控制需求。

  • 快速响应时间:S600 系列流量控制器具备快速响应时间,能够在气体流量变化时及时进行调整,确保精确控制。

  • 数字接口支持:支持RS-485、Modbus等数字通信接口,便于与现有自动化控制系统集成,实现远程监控和控制。

  • 高可靠性:设计坚固,适应恶劣工作环境,能够提供长期稳定的流量控制,保证设备的可靠性和耐用性。

  • 紧凑设计:该系列设备采用紧凑的设计,适合在空间受限的环境中安装使用。

应用领域:

  1. 半导体行业:广泛应用于半导体制造过程中的气体流量控制,确保气体供应的稳定性与一致性,提升生产质量。

  2. 化学工程:在化学反应过程中,精确控制气体流量对于反应效率和反应条件的一致性至关重要。

  3. 实验室研究:用于实验室中各种高精度气体流量控制应用,确保实验条件中的气体环境稳定。

  4. 气体监控系统:在气体监控和调节系统中,提供精确流量控制,确保系统的高效稳定运行。

  5. 生命科学:在生命科学实验中,提供高精度气体流量控制,确保实验条件的严格要求。

技术规格:

  • 流量范围:0 至 5000 sccm(标准立方厘米每分钟),提供多个流量范围以满足不同应用需求。

  • 气体类型:支持氮气、氧气、氩气、空气等多种气体类型,并可以根据客户需求提供定制气体。

  • 精度:流量控制精度为 ±1% 读数,确保稳定且精确的流量调节。

  • 响应时间:快速响应时间,能够应对气体流量的瞬时变化。

  • 工作压力:支持多种工作压力环境,能够支持高压操作。

  • 电源要求:支持DC或AC电源输入,适应不同操作环境的需求。

  • 数字接口:支持RS-485、Modbus等数字通信接口,便于与自动化控制系统的集成。

定制化选项:

  • 气体类型:支持根据需求提供定制气体选项,包括氮气、氧气、氩气、空气等。

  • 接口选项:支持RS-485、Modbus等接口,便于与现有自动化控制系统进行集成。

  • 流量范围与精度:根据客户需求,定制流量范围和精度,确保满足具体应用的精确控制要求。

S600 系列质量流量控制器
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