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S48 系列 质量流量控制器

HORIBA S48 系列质量流量控制器(MFC)是一款高精度气体流量控制设备,广泛应用于要求精准流量调节的工业和科研领域。

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联系人:杨经理

HORIBA S48 系列 质量流量控制器

产品概述:

HORIBA S48 系列质量流量控制器(MFC)是一款高精度气体流量控制设备,广泛应用于要求精准流量调节的工业和科研领域。该系列采用先进的热质量流量传感技术,确保气体流量的精确测量和调节。S48 系列控制器的设计紧凑,操作简便,适用于各种气体流量监控和调节应用。无论是在半导体制造、化学工业、生命科学研究,还是其他精密制造领域,S48 系列都能提供出色的性能。

主要特点:

  • 高精度流量控制:S48 系列质量流量控制器采用热质量流量传感器,精度高达±1%读数,确保每次流量调节的精准性,适合需要高精度流量调节的行业应用。

  • 多气体支持:支持多种气体类型,包括氮气、氧气、氩气、空气等常见气体,且能够根据客户需求定制更多气体类型,满足不同行业的需求。

  • 快速响应时间:流量控制器的响应时间非常短,能够应对气体流量瞬时变化,保证气体供应在动态工况下的稳定性。

  • 紧凑的设计:S48 系列流量控制器设计紧凑,占用空间小,适合在空间受限的环境中安装,特别适用于实验室和高精度生产线。

  • 高可靠性:该系列设备采用坚固的设计,能够适应高温、低温、高压等严苛的工作环境,确保设备长期稳定运行。

  • 数字化接口:支持RS-485、Modbus等数字接口,方便与现有的自动化控制系统无缝连接,实现实时监控和远程控制。

应用领域:

  1. 半导体行业:在半导体制造过程中,S48 系列为气体流量提供精确的控制,确保各类工艺过程中气体流量的稳定,提升产品制造的一致性与质量。

  2. 化学工程:用于化学反应过程中的气体流量调节,确保气体供给的精确性,控制反应条件的一致性。

  3. 生命科学与生物医学研究:S48 系列在生命科学领域中提供精准的气体流量控制,支持气体环境的稳定,确保实验条件的一致性。

  4. 气体监控系统:适用于气体流量监控和调节系统中,提供精确的气体流量控制,确保系统的稳定性和高效性。

  5. 实验室研究:广泛应用于实验室中,确保气体流量的精确调节,特别适用于需要严格控制实验环境的科研任务。

技术规格:

  • 流量范围:0 至 5000 sccm(标准立方厘米每分钟),具体流量范围可根据不同型号进行选择。

  • 气体类型:支持氮气、氧气、氩气、空气等常见气体,也可以根据客户需求提供定制气体类型,满足各种应用要求。

  • 精度:±1% 读数,确保气体流量调节的高精度与稳定性。

  • 响应时间:该控制器能够快速响应气体流量的变化,响应时间通常为几毫秒,确保流量的精确调节。

  • 工作压力:适应多种工作压力条件,能够支持高压操作,最大工作压力可根据实际需求定制。

  • 电源要求:支持DC或AC电源输入,能够灵活配置,适应不同操作环境的需求。

  • 数字接口:支持RS-485、Modbus等数字通信接口,便于与自动化控制系统进行集成,便于实现远程监控与控制。

定制化选项:

  • 气体类型:根据具体需求,S48 系列流量控制器支持定制气体类型,包括但不限于氮气、氧气、氩气、空气等。

  • 接口选项:提供RS-485、Modbus等数字接口,便于与现有的自动化控制系统进行集成,满足不同应用场景的需求。

  • 流量范围与精度:根据用户需求,可以定制流量范围和精度设置,以满足不同精度要求的控制任务。

S48 系列 质量流量控制器
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