D700T 高性能压力不敏感质量流量控制器
D700T是为关键半导体制造工艺设计的性能最好的压力不敏感质量流量模块。D700T采用了HORIBA CRITERION基于压力的流量测量和控制技术,以提供行业领先的可重复和准确的性能。
HORIBA D700T 系列压力不敏感质量流量控制器(MFC)是一款专为高精度气体流量调节而设计的高性能设备,采用了先进的热质量流量传感技术。与传统的质量流量控制器不同,D700T 具备最佳性能的压力不敏感特性,在压力波动环境下依然能够保持流量的高精度和稳定性。该系列流量控制器广泛应用于半导体制造、化学工程、生命科学及其他需要精确气体流量控制的行业,尤其适用于对流量稳定性和精度要求严格的应用。
压力不敏感设计:D700T 流量控制器采用创新的压力不敏感技术,在气体压力变化时依然能够保持流量的精准测量和调节,避免压力波动对流量控制的影响。
高精度流量控制:该系列流量控制器的流量精度高达 ±1% 读数,确保每次流量调节的精准性,适合高精度的工业应用。
快速响应:D700T 流量控制器具备极快的响应速度,能够迅速对流量变化做出调整,确保系统始终保持流量调节的稳定性。
多气体支持:支持氮气、氧气、氩气、空气等多种常见气体,并且可以根据客户需求提供更多气体类型,满足不同的应用需求。
紧凑设计:流量控制器采用紧凑设计,占用空间小,适合在空间有限的环境中安装,特别适用于实验室和高精度生产线。
高可靠性与耐用性:D700T 设计稳健,能够在高温、低温及高压等恶劣环境中稳定运行,保证长期使用中的高可靠性。
数字接口支持:支持 RS-485、Modbus 等数字接口,便于与自动化控制系统进行集成,支持远程监控与控制,提升智能化程度。
半导体行业:在半导体制造过程中,D700T 流量控制器能够确保气体流量的稳定性和一致性,为制造过程中的精准工艺提供支持。
化学工程:适用于化学反应过程中的气体流量控制,确保反应条件的准确性和一致性,提高化学反应的效率和稳定性。
生命科学与生物医学研究:D700T 流量控制器提供精确的气体流量调节,确保实验过程中气体流量的稳定性,满足高精度实验需求。
气体监控系统:D700T 可广泛应用于气体流量监测和调节系统中,提供精确控制,确保系统高效稳定运行。
实验室研究:适用于各种实验室气体流量控制需求,D700T 流量控制器保证气体环境的稳定性,适合高精度实验环境。
流量范围:0 至 5000 sccm(标准立方厘米每分钟),提供广泛的流量范围,以满足不同应用的需求。
气体类型:支持氮气、氧气、氩气、空气等常见气体类型,也可根据需求定制其他气体类型。
精度:±1% 读数,确保气体流量调节的高精度和稳定性。
响应时间:快速响应时间,能够在流量变化时迅速进行调整,确保气体流量控制的稳定性。
工作压力:支持多种工作压力,能够在不同工作环境中稳定运行。
电源要求:支持 DC 或 AC 电源输入,适应不同操作环境的需求。
数字接口:支持 RS-485、Modbus 等数字接口,便于与自动化控制系统的集成。
气体类型:支持定制气体类型,包括氮气、氧气、氩气等,满足特殊气体流量调节需求。
接口选项:支持 RS-485、Modbus 等多种数字接口,便于与现有自动化控制系统进行集成。
流量范围与精度:根据用户需求定制流量范围和精度,确保满足不同应用的精确控制要求。
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