XF-100 系列 数字式液体质量流量计
XF 系列数字式液体质量流量计使用压差测量方法以实现 100 毫秒的高速响应（或与压电阀结合使用时小于 0.8 秒）。
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联系人：杨经理产品简介
HORIBA XF-100 系列数字式液体质量流量计 是专为半导体制造、微电子工艺、高精密化学供液系统等行业设计的高性能流量测量设备。该系列产品通过压差检测原理，实现毫秒级响应时间，保障了极高的测量精度和控制稳定性。
产品特点
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高响应速度：100ms 内完成测量，配合阀门控制时响应时间可缩短至 <0.8 秒。
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优异测量精度：±0.8% F.S.，满足精密流体工艺要求。
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洁净设计：全不锈钢材质（SUS316L），适配超纯化学液体。
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数字通信接口：支持 F-NET 数字协议与 0–5V 模拟信号输出。
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标准接口：兼容 1/4" VCR 接口，便于集成于多种系统中。
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宽流量覆盖范围：0.5 mL/min 至 1000 mL/min 多型号可选。
规格型号
典型应用场景
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半导体制造中的光刻、清洗、涂胶等工艺液体控制
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光电显示产业的液体配比系统
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微流控与化学反应控制设备
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高精度试剂配液与传输
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激光加工冷却液精控
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