LF-F/LV-F 系列 数字式液体质量流量计/控制器
LF-F 和 LV-F 系列数字式液体质量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体，而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险，从而实现更安全的化学控制。
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HORIBA LF-F / LV-F 系列 是一款专为微升级至超低流量精密控制而设计的数字式液体质量流量计与控制器。该系列基于独特的冷却测量原理，结合超洁净设计理念，可实现对各类化学液体的稳定测量与控制，广泛应用于半导体制造、化学供液系统、光电材料加工、生命科学等高端领域。
核心技术优势
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先进的冷却式测量原理：利用珀尔帖元件对液体进行冷却，避免了低沸点液体沸腾风险，提升化学液体控制的安全性与稳定性。
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高精度输出：测量精度为 ±0.5% F.S.，重复性同样达到 ±0.5% F.S.，保障工艺稳定。
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快速响应时间：T98 响应时间小于 3 秒，适应复杂液体动态变化。
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洁净化工艺兼容：全系列采用 SUS316L 不锈钢接液材质，满足半导体、药品等行业的洁净要求。
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多通信接口支持：支持 0–5V 模拟输出和 RS-485 数字通讯协议，适配主流自动化系统。
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宽广的流量范围选择：涵盖从 0.02 g/min 到 100 g/min 的微小至中等流量需求。
型号与流量范围
LF-F / LV-F 系列根据不同应用需求提供多个规格型号：
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LF-F20M-A / LV-F20(PO/MO)：适用于 0.02、0.05、0.1 g/min 的超低流量微量液体控制，是微流控及微剂量反应控制的理想选择。
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LF-F30M-A / LV-F30(PO/MO)：支持 0.2 至 0.5 g/min 的低流量测量，适合精密涂布或薄膜材料的化学供液。
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LF-F40M-A / LV-F40(PO/MO)：适用于 1、2、5 g/min 的流量控制，可覆盖中低速液体输送过程。
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LF-F50M-A / LV-F50(PO/MO)：适合 10 至 20 g/min 的中等液体流量控制场合。
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LF-F60M-A / LV-F60(PO/MO)：支持 50 和 100 g/min 的大流量精密控制，适用于高流量化学供液系统。
典型应用场景
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半导体光刻、显影、清洗等工艺中的液体供给与精控
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化学气相沉积（CVD）等材料制造过程中的反应液体控制
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光电显示行业中光阻、功能液的微量供液
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微流控设备中的精准液体注射与调配
- 药品试剂配液及精密实验室自动供液系统
常见问题
Q1：LF-F 与 LV-F 有何区别？
LF-F 为流量计型号，专注测量；LV-F 为流量控制器型号，内置精密控制阀，可实现闭环控制。
Q2：可测哪些液体？
可测酸、碱、有机溶剂、超纯水等液体，适配大多数半导体和化工工艺液体。
Q3：该产品能在洁净室使用吗？
完全可以。LF-F / LV-F 系列采用洁净设计，广泛用于 ISO 4–6 等级洁净环境。
Q4：流量控制是否受温度影响？
推荐工作温度范围为 5 至 50°C，冷却式设计可有效缓解温度对测量精度的影响。
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