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Kashiyama NeoDry 15G 干式真空泵

Kashiyama NeoDry 15G 是日本樫山工业(Kashiyama Industries, Ltd.)推出的一款高性能无油干式真空泵,隶属于 NeoDry G 系列。

电话:13062604980
邮箱:erdong.yang@outlook.com
联系人:杨经理

Kashiyama NeoDry 15G 干式真空泵

产品简介

Kashiyama NeoDry 15G 是日本樫山工业(Kashiyama Industries, Ltd.)推出的一款高性能无油干式真空泵,隶属于 NeoDry G 系列,广泛应用于对真空环境洁净度要求极高的半导体设备、真空干燥、分析仪器、科研实验室等场合。

与传统油封泵相比,NeoDry 15G 采用多级 Roots 结构,全程无油运作,兼具宽电压兼容性、超长维护周期、低噪音、低振动等多重优势,是追求高稳定性与低维护成本用户的理想之选。

产品特点

  • 无油干式结构,避免油污染,适用于高洁净需求环境

  • 内置气镇功能,有效处理水蒸气及可凝性气体

  • 宽电压设计,支持全球 AC100–240V 电源

  • 运行静音低振动,适合科研及精密分析场所

  • 支持 RS485 通讯,可实现远程监控和系统集成

  • 使用空气或氮气时,最长可达 6 年免维护

技术参数

  • 最大抽速:250 L/min(约 8.8 CFM)

  • 极限压力:1.0 Pa(无气镇)

  • 最大水蒸气处理量:275 g/h(配备气镇)

  • 电源电压:AC100–240V,50/60Hz 自动切换

  • 功耗:0.34 kW(在极限压力下)

  • 噪音水平:≤ 45 dB(A)

  • 振动值:≤ 8 μm p-p

  • 进气口接口:KF40(NW40)

  • 排气口接口:KF25(NW25)

  • 外形尺寸:385 × 210 × 219 mm

  • 重量:约 22 kg

应用场景

  • 半导体加工设备(如 CVD、PVD、蚀刻系统)

  • 分析检测仪器(如质谱仪、气相色谱仪)

  • 真空干燥箱、真空炉、干燥系统

  • OLED / LCD 显示面板制造

  • 精密镀膜设备与太阳能电池制造

  • 高校实验室、研究所的高真空应用场合

为什么选择 Kashiyama NeoDry 15G?

  • 无油运行,绿色环保

  • 长寿命设计,6 年免维护

  • 静音设计,实验室友好

  • 原装进口,稳定可靠

  • 通讯功能完备,轻松嵌入自动化系统

  • 获得半导体和生物医药行业广泛验证

常见问题(FAQ)

Q1:NeoDry 15G 是风冷还是水冷?
A:NeoDry 15G 采用风冷式结构,安装便捷,无需外接冷却水。

Q2:该泵是否支持长期连续运行?
A:是的。在空气或氮气环境中维护周期可达 6 年,适合 24h 连续运行场景。

Q3:如何处理水蒸气?
A:泵体配备气镇功能,最高可处理 275 g/h 的水蒸气,适用于真空干燥工艺。

Q4:NeoDry 15G 的接口标准是什么?
A:进气口为 KF40(NW40),排气口为 KF25(NW25),符合国际通用标准。


Kashiyama NeoDry 15G 干式真空泵
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