Kashiyama NeoDry 15G 干式真空泵
Kashiyama NeoDry 15G 是日本樫山工业(Kashiyama Industries, Ltd.)推出的一款高性能无油干式真空泵,隶属于 NeoDry G 系列。
Kashiyama NeoDry 15G 是日本樫山工业(Kashiyama Industries, Ltd.)推出的一款高性能无油干式真空泵,隶属于 NeoDry G 系列,广泛应用于对真空环境洁净度要求极高的半导体设备、真空干燥、分析仪器、科研实验室等场合。
与传统油封泵相比,NeoDry 15G 采用多级 Roots 结构,全程无油运作,兼具宽电压兼容性、超长维护周期、低噪音、低振动等多重优势,是追求高稳定性与低维护成本用户的理想之选。
无油干式结构,避免油污染,适用于高洁净需求环境
内置气镇功能,有效处理水蒸气及可凝性气体
宽电压设计,支持全球 AC100–240V 电源
运行静音低振动,适合科研及精密分析场所
支持 RS485 通讯,可实现远程监控和系统集成
使用空气或氮气时,最长可达 6 年免维护
最大抽速:250 L/min(约 8.8 CFM)
极限压力:1.0 Pa(无气镇)
最大水蒸气处理量:275 g/h(配备气镇)
电源电压:AC100–240V,50/60Hz 自动切换
功耗:0.34 kW(在极限压力下)
噪音水平:≤ 45 dB(A)
振动值:≤ 8 μm p-p
进气口接口:KF40(NW40)
排气口接口:KF25(NW25)
外形尺寸:385 × 210 × 219 mm
重量:约 22 kg
半导体加工设备(如 CVD、PVD、蚀刻系统)
分析检测仪器(如质谱仪、气相色谱仪)
真空干燥箱、真空炉、干燥系统
OLED / LCD 显示面板制造
精密镀膜设备与太阳能电池制造
高校实验室、研究所的高真空应用场合
无油运行,绿色环保
长寿命设计,6 年免维护
静音设计,实验室友好
原装进口,稳定可靠
通讯功能完备,轻松嵌入自动化系统
获得半导体和生物医药行业广泛验证
Q1:NeoDry 15G 是风冷还是水冷?
A:NeoDry 15G 采用风冷式结构,安装便捷,无需外接冷却水。
Q2:该泵是否支持长期连续运行?
A:是的。在空气或氮气环境中维护周期可达 6 年,适合 24h 连续运行场景。
Q3:如何处理水蒸气?
A:泵体配备气镇功能,最高可处理 275 g/h 的水蒸气,适用于真空干燥工艺。
Q4:NeoDry 15G 的接口标准是什么?
A:进气口为 KF40(NW40),排气口为 KF25(NW25),符合国际通用标准。
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