Kashiyama NeoDry G 系列干式真空泵/多级罗茨真空泵
Kashiyama NeoDry G 系列 是日本樫山工业(Kashiyama Industries, Ltd.)推出的高性能无油干式真空泵系列,采用多级 Roots 干式结构,全程无油运作,广泛应用于对真空环境洁净度要求极高的半导体设备、真空干燥、分析仪器、科研实验室等场合。
Kashiyama NeoDry G 系列 是日本樫山工业(Kashiyama Industries, Ltd.)推出的高性能无油干式真空泵系列,采用多级 Roots 干式结构,全程无油运作,广泛应用于对真空环境洁净度要求极高的半导体设备、真空干燥、分析仪器、科研实验室等场合。
该系列产品具有宽电压兼容性、超长维护周期、低噪音、低振动等多重优势,是追求高稳定性与低维护成本用户的理想之选。
无油干式结构:采用多级 Roots 干式结构,避免油污染和颗粒生成,适用于对真空洁净度要求高的应用场景。
低噪音、低振动:运行安静,适合实验室等对噪音敏感的环境。
宽电压兼容性:支持 AC100–240V 电源,适应全球不同地区的电压标准。
气镇功能(可选):配备气镇装置,可有效处理水蒸气和可凝性气体,提升泵的适应性。
RS485 通讯接口:支持数据通讯和转速控制,便于集成到自动化系统中。
长维护周期:在使用空气或氮气的情况下,维护周期可达 6 年,降低维护成本。
半导体加工设备(如 CVD、PVD、蚀刻系统)
分析检测仪器(如质谱仪、气相色谱仪)
真空干燥箱、真空炉、干燥系统
OLED / LCD 显示面板制造
精密镀膜设备与太阳能电池制造
高校实验室、研究所的高真空应用场合
无油运行,绿色环保
长寿命设计,6 年免维护
静音设计,实验室友好
原装进口,稳定可靠
通讯功能完备,轻松嵌入自动化系统
获得半导体和生物医药行业广泛验证
Q1:NeoDry G 系列是风冷还是水冷?
A:NeoDry G 系列采用风冷式结构,安装便捷,无需外接冷却水。
Q2:该系列是否支持长期连续运行?
A:是的。在空气或氮气环境中维护周期可达 6 年,适合 24h 连续运行场景。
Q3:如何处理水蒸气?
A:泵体配备气镇功能,最高可处理 350 g/h 的水蒸气,适用于真空干燥工艺。
Q4:NeoDry G 系列的接口标准是什么?
A:进气口为 KF25 或 KF40,排气口为 KF25,符合国际通用标准。
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