Kashiyama NeoDry 36E 干式真空泵
Kashiyama NeoDry 36E 是日本樫山工业推出的高性能无油干式真空泵,适用于半导体、真空干燥、质谱分析、实验室、锂电池等对洁净度和稳定性要求高的应用场景。
Kashiyama NeoDry 36E 是日本樫山工业推出的高性能无油干式真空泵,适用于半导体、真空干燥、质谱分析、实验室、锂电池等对洁净度和稳定性要求高的应用场景。
无油设计:多级Roots转子结构,无金属接触、无润滑油,确保洁净排气
空气冷却:无需外部冷却水,安装简便,降低维护难度
气镇功能:可接氮气或空气,用于排除水蒸气和可凝性气体
运行静音:噪音≤58 dB(A),适用于安静环境
低震动:震动值≤8 μm p-p,保护高精密设备
长寿命:在洁净环境中维护周期可达3年
宽电压支持:兼容单相和三相电源,支持变频驱动
最大抽速:600 L/min(36 m³/h)
极限真空度:≤1 Pa(无气镇)
最大水蒸气处理能力:350 g/h(开启气镇)
噪音水平:≤58 dB(A)
震动值:≤8 μm p-p
接口尺寸:吸气口 NW40,排气口 NW25
外形尺寸:475 × 298 × 275 mm
重量:54 kg
电源选项:单相 AC100~120V / AC200~240V,三相 AC200~240V
半导体制造设备
真空干燥、冷冻干燥设备
质谱仪、电子显微镜
锂电池电极真空干燥工艺
真空包装、真空灌注系统
分子泵前级泵、高真空辅助泵
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