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Kashiyama NeoDry 300E 干式真空泵

Kashiyama NeoDry 300E 是日本樫山工业(Kashiyama Industries)推出的一款高性能无油干式真空泵,采用多级Roots转子结构,内部无金属接触,无需润滑油,确保洁净排气。

电话:13062604980
邮箱:erdong.yang@outlook.com
联系人:杨经理

Kashiyama NeoDry 300E 无油干式真空泵

产品简介

Kashiyama NeoDry 300E 是日本樫山工业(Kashiyama Industries)推出的一款高性能无油干式真空泵,采用多级Roots转子结构,内部无金属接触,无需润滑油,确保洁净排气。该设备广泛应用于半导体制造、真空干燥、质谱分析、电子显微镜、锂电池生产等对洁净度和稳定性要求高的应用场景。

产品特点

  • 无油设计:多级Roots转子结构,无金属接触、无润滑油,确保洁净排气。

  • 空气冷却:无需外部冷却水,安装简便,降低维护难度。

  • 气镇功能:可接氮气或空气,用于排除水蒸气和可凝性气体。

  • 高水汽处理能力:最大可处理600 g/h的水蒸气,适用于高湿度工艺。

  • 运行静音:噪音≤72 dB(A),适用于安静环境。

  • 低震动:震动值≤15 μm p-p,保护高精密设备。

  • 长寿命:在洁净环境中维护周期可达3年,有效降低运行成本。

  • 宽电压支持:兼容单相和三相电源,支持变频驱动。

技术参数

  • 最大抽速:5,000 L/min(300 m³/h)。

  • 极限真空度:≤0.3 Pa(无气镇)。

  • 最大水蒸气处理能力:600 g/h(开启气镇)。

  • 噪音水平:≤72 dB(A)。

  • 震动值:≤15 μm p-p。

  • 接口尺寸:吸气口 NW50,排气口 NW25。

  • 外形尺寸:574 × 304 × 575 mm。

  • 重量:125 kg。

  • 电源选项:单相 AC200~240V,三相 AC200~240V。

应用领域

  • 半导体制造设备。

  • 真空干燥、冷冻干燥设备。

  • 质谱仪、电子显微镜。

  • 锂电池电极真空干燥工艺。

  • 真空包装、真空灌注系统。

  • 分子泵前级泵、高真空辅助泵。

联系我们

如需了解Kashiyama NeoDry 300E价格、交货周期或技术支持,欢迎与我们联系。我们提供产品选型建议、售后服务和技术指导。

Kashiyama NeoDry 300E 干式真空泵
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