Kashiyama NeoDry 300E 干式真空泵
Kashiyama NeoDry 300E 是日本樫山工业(Kashiyama Industries)推出的一款高性能无油干式真空泵,采用多级Roots转子结构,内部无金属接触,无需润滑油,确保洁净排气。
Kashiyama NeoDry 300E 是日本樫山工业(Kashiyama Industries)推出的一款高性能无油干式真空泵,采用多级Roots转子结构,内部无金属接触,无需润滑油,确保洁净排气。该设备广泛应用于半导体制造、真空干燥、质谱分析、电子显微镜、锂电池生产等对洁净度和稳定性要求高的应用场景。
无油设计:多级Roots转子结构,无金属接触、无润滑油,确保洁净排气。
空气冷却:无需外部冷却水,安装简便,降低维护难度。
气镇功能:可接氮气或空气,用于排除水蒸气和可凝性气体。
高水汽处理能力:最大可处理600 g/h的水蒸气,适用于高湿度工艺。
运行静音:噪音≤72 dB(A),适用于安静环境。
低震动:震动值≤15 μm p-p,保护高精密设备。
长寿命:在洁净环境中维护周期可达3年,有效降低运行成本。
宽电压支持:兼容单相和三相电源,支持变频驱动。
最大抽速:5,000 L/min(300 m³/h)。
极限真空度:≤0.3 Pa(无气镇)。
最大水蒸气处理能力:600 g/h(开启气镇)。
噪音水平:≤72 dB(A)。
震动值:≤15 μm p-p。
接口尺寸:吸气口 NW50,排气口 NW25。
外形尺寸:574 × 304 × 575 mm。
重量:125 kg。
电源选项:单相 AC200~240V,三相 AC200~240V。
半导体制造设备。
真空干燥、冷冻干燥设备。
质谱仪、电子显微镜。
锂电池电极真空干燥工艺。
真空包装、真空灌注系统。
分子泵前级泵、高真空辅助泵。
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