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Kashiyama SDE90X 干式真空泵

Kashiyama SDE90X是樫山工業(Kashiyama Industries)推出的一款高效、无油设计的干式真空泵,广泛应用于半导体、液晶显示器制造等需要高洁净度和高性能真空环境的行业。

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联系人:杨经理

Kashiyama SDE90X 干式真空泵

产品概述

Kashiyama SDE90X是樫山工業(Kashiyama Industries)推出的一款高效、无油设计的干式真空泵,广泛应用于半导体、液晶显示器制造等需要高洁净度和高性能真空环境的行业。SDE90X真空泵采用创新的螺杆泵技术,提供高排气速度、低能耗并具有卓越的耐腐蚀性,是工业生产中理想的真空解决方案。

技术规格

  • 最大排气速度 (Max Pumping Speed): 1,300 L/min

  • 极限压力 (Ultimate Pressure): 1.3 Pa(无氮气吹扫)

  • 电源电压 (Power Supply): 三相 AC 200~220V(50/60Hz)

  • 消耗功率 (Power Consumption): 约 1.3 kW

  • 外形尺寸 (Dimensions): 690 mm (长) × 370 mm (宽) × 501 mm (高)

  • 接口规格 (Flange Specifications): 吸气口和排气口均为 NW40 法兰

  • 冷却方式 (Cooling Method): 水冷式

  • 适用油类型 (Oil Type): F 油

  • 适用气体 (Applicable Gases): 适用于多种工业气体,具体根据需求定制

主要特点

  • 无油设计 (Oil-Free Design):
    采用创新的干式螺杆泵技术,避免了油的使用,确保排气过程洁净无污染,适合对洁净度要求极高的应用场景。

  • 高效节能 (High Efficiency & Energy Saving):
    相比传统真空泵,SDE90X的能耗减少了约54%,大幅降低了运营成本,同时提高了能源利用效率。

  • 耐腐蚀性强 (High Corrosion Resistance):
    采用耐腐蚀材料与先进的设计,SDE90X适用于各种恶劣环境,特别适合半导体、液晶制造等高精密制造领域。

  • 紧凑设计 (Compact Design):
    结构紧凑,占地空间小,方便在有限的生产空间内安装,适合各类生产设备的集成需求。

  • 稳定性高 (High Stability):
    由于其特殊的设计,SDE90X在长期使用过程中具有卓越的稳定性与可靠性,确保生产流程的持续稳定。

应用领域 

SDE90X真空泵广泛应用于以下领域:

  • 半导体制造:用于半导体芯片的真空环境要求。

  • 液晶显示器生产:为液晶面板的制造提供高洁净度真空环境。

  • 真空镀膜设备:用于高精度真空镀膜过程中,保证高质量的涂层。

  • 化学品处理与材料科学:在化学实验和材料研究过程中提供无污染的真空支持。

  • 高精密制造:适用于需要高精度、高洁净度环境的其他领域。

优势

  • 清洁无污染:SDE90X的无油设计消除了传统泵油带来的污染风险,确保工作环境和处理气体的纯净性。

  • 降低运营成本:得益于其节能高效的特点,SDE90X能够大幅降低长期运行的能源消耗。

  • 适应多种工业需求:无论是高温高压环境,还是要求极高洁净度的场景,SDE90X都能够满足各种不同的工业需求。

Kashiyama SDE90X 干式真空泵
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